Open
Close

Эксимерный лазер. Что такое эксимерный лазер Эксимерный лазер

ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР

ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР

- газовый лазер , работающий на электронных переходах эксимерных молекул (молекул, существующих только в электронно-возбуждённых состояниях). Зависимость потенц. энергии взаимодействия атомов эксимерной , находящейся в основном электронном состоянии, от межъядерного расстояния является монотонно спадающей ф-цией, что отвечает отталкиванию ядер. Для возбуждённого электронного , являющегося верх, уровнем лазерного перехода, такая зависимость имеет минимум, определяющий возможность существования самой эксимерной (рис.). Время жизни возбуждённой эксимерной молекулы ограничено

Зависимость энергии эсимерной молекулы от расстояния R между составляющими её атомами X и Y; верхняя кривая - для верхнего лазерного уровня, нижняя кривая-для нижнего лазерного уровня. Значения соответствуют центру линии усиления активной среды, её красной и фиолетовой границам. временем её радиац. распада. Поскольку ниж. состояние лазерного перехода в Э. л. опустошается в результате разлёта атомов эксимерной молекулы, характерное к-рого (10 -13 - 10 -12 с) значительно меньше времени радиац. опустошения верх, состояния лазерного перехода, содержащий эксимерные молекулы, является активной средой с усилением на переходах между возбуждёнными связанными и основным разлётным термами эксимерной молекулы.

Основу активной среды Э. л. составляют обычно двухатомные эксимерные молекулы - короткоживущие соединения атомов инертных газов друг с другом, с галогенами или с кислородом. Длина излучения Э. л. лежит в видимой или ближней УФ-области спектра. Ширина линии усиления лазерного перехода Э. л. аномально велика, что связано с разлётным характером нижнего терма перехода. Характерные значения параметров лазерных переходов для наиб, распространённых Э. л. представлены в таблице.

Параметры эксимерных лазеров

Оптимальные параметры активной среды Э. л. соответствуют оптимальным условиям образования эксимерных молекул. Наиб, благоприятные условия для образования димеров инертных газов соответствуют диапазону давлений 10-30 атм, когда происходит интенсивное образование таких молекул при тройных столкновениях с участием возбуждённых атомов:


При столь высоких давлениях наиболее эфф. способ введения энергии накачки в активную среду лазера связан с пропусканием через газ пучка быстрых электронов, к-рые теряют энергию преим. на ионизацию атомов газа. Конверсия атомных ионов в молекулярные и последующая диссоциативная молекулярных ионов сопровождающаяся образованием возбуждённых атомов инертного газа, обеспечивают возможность эфф. преобразования энергии пучка быстрых электронов в энергию эксимерных молекул Лазеры на димерах инертных газов характеризуются ~1%. Осн. недостатком лазеров данного типа является чрезвычайно высокое значение уд. порогового энерговклада, что связано с малой длиной волны лазерного перехода и значит, шириной линии усиления. Это накладывает высокие требования на характеристики электронного пучка, используемого в качестве источника накачки лазера, и ограничивает значения выходной энергии лазерного излучения на уровне долей Дж (в импульсе) при частоте повторения импульсов не выше неск. Гц. Дальнейшее увеличение выходных характеристик лазеров на димерах инертных газов зависит от развития техники электронных ускорителей с длительностью импульса электронного пучка порядка десятков не и энергией пучка ~кДж.

Существенно более высокими выходными характеристиками отличаются Э. л. на моногалогенидах инертных газов RX*, где X - галогена. Молекулы этого типа эффективно образуются при парных соударениях, напр.или

Указанные протекают с достаточной интенсивностью уже при давлениях порядка атмосферного, поэтому проблема введения энергии в активную среду таких лазеров оказывается технически значительно менее сложной, чем в случае лазеров на димерах инертных газов. Активная среда Э. л. на моногалогенидах инертных газов состоит из одного или неск. инертных газов при давлении порядка атмосферного и нек-рого кол-ва (~10 -2 атм) га-логеносодержаших молекул. Для возбуждения лазера применяется либо пучок быстрых электронов, либо импульсный электрич. разряд. При использовании пучка быстрых электронов выходная лазерного излучения достигает значений ~ 10 3 Дж при кпд на уровне неск. процентов и частоте повторения импульсов значительно ниже 1 Гц. В случае использования электрич. разряда выходная энергия лазерного излучения в импульсе не превышает долей Дж, что связано с трудностью формирования однородного по объёму разряда в значит, объёме при атм. давлении за время ~ 10 нс. Однако при применении электрич. разряда достигается высокая частота повторения импульсов (до неск. кГц), что открывает возможности широкого практич. использования лазеров данного типа. Наиб. широкое распространение среди Э. л. получил на XeCl, что связано с относительной простотой реализации работы в режиме высокой частоты повторения импульсов. Cp. выходная этого лазера достигает уровня 1 кВт.

Наряду с высокими энергетич. характеристиками важной привлекательной особенностью Э. л. является чрезвычайно высокое значение ширины линии усиления активного перехода (табл.). Это открывает возможность создания мощных лазеров УФ- и видимого диапазонов с плавной перестройкой длины волны в достаточно широкой области спектра. Указанная задача решается с помощью инжекционной схемы возбуждения лазера, включающей в себя маломощный генератор лазерного излучения с длиной волны, перестраиваемой в пределах ширины линии усиления активной среды Э. л., и широкополосный усилитель. Эта схема позволяет получить лазерное с шириной линии ~ 10 -3 HM, перестраиваемое по длине волны в диапазоне шириной ~ 10 HM и более.

Э. л. широко используются благодаря своим высоким энергетич. характеристикам, малой длине волны и возможности её плавной перестройки в довольно широком диапазоне. Мощные моноимпульсные Э. л., возбуждаемые электронными пучками, применяются в установках по исследованию лазерного нагрева мишеней с целью осуществления термоядерных реакций (напр., KrF-лазер с HM, выходной энергией в импульсе до 100 кДж, длительностью импульса ~ 1 не). Лазеры с высокой частотой повторения импульсов, возбуждаемые импульсным газовым разрядом, используются в технол. целях при обработке изделий микроэлектроники, в медицине, в экспериментах по лазерному разделению изотопов, при зондировании атмосферы в целях контроля её загрязнения, в фотохимии и в эксперим. физике в качестве интенсивного источника монохроматич. излучения УФ- или видимого диапазона.

Лит.: Эксимерные лазеры, под ред. Ч. Роудза, пер. с англ., M., 1981; ЕлецкийА. В.. Смирнов Б. M., Физические процессы в газовых лазерах, M.. 1985. А. В. Елецкий.

Физическая энциклопедия. В 5-ти томах. - М.: Советская энциклопедия . Главный редактор А. М. Прохоров . 1988 .


Смотреть что такое "ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР" в других словарях:

    Эксимерный лазер разновидность ультрафиолетового газового лазера, широко применяемая в глазной хирургии (лазерная коррекция зрения) и полупроводниковом производстве. Термин эксимер (англ. excited dimer) обозначает возбуждённый димер и… … Википедия

    эксимерный лазер - Газовый лазер в котором лазерная активная среда в виде неустойчивого соединения ионов создается в газовом разряде при электрической накачке. [ГОСТ 15093 90] Тематики лазерное оборудование EN excimer laser … Справочник технического переводчика

    эксимерный лазер - eksimerinis lazeris statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. excimer laser vok. Excimer Laser, m rus. эксимерный лазер, m pranc. laser à excimères, m … Radioelektronikos terminų žodynas

    У этого термина существуют и другие значения, см. Лазер (значения). Лазер (лаборатория NASA) … Википедия

    Лазер, применяющийся для удаления очень тонких слоев ткани с поверхности роговицы глаза. Данная операция может производиться с целью изменения кривизны поверхности роговицы, например, в процессе лечения миопии (фоторефракционная кератэктомия… … Медицинские термины

    - (аббревиатура от Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation) прибор, позволяющий получить очень тонкий пучок света с высокой концентрацией энергии в нем. В хирургической практике лазер применяется для проведения операций,… … Медицинские термины

    ЛАЗЕР - (laser) (аббревиатура от Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation) прибор, позволяющий получить очень тонкий пучок света с высокой концентрацией энергии в нем. В хирургической практике лазер применяется для проведения операций,… … Толковый словарь по медицине

    ЛАЗЕР ЭКСИМЕРНЫЙ - (excimer laser) лазер, применяющийся для удаления очень тонких слоев ткани с поверхности роговицы глаза. Данная операция может производиться с целью изменения кривизны поверхности роговицы, например, в процессе лечения миопии (фоторефракционная… … Толковый словарь по медицине

    Линия фотолитографии для производства кремниевых пластин Фотолитография метод получения рисунка на тонкой плёнке материала, широко используется в микроэлектронике и в полиграфии. Один из … Википедия

Книги

  • Генераторы высоковольтных импульсов на основе составных твердотельных коммутаторов , Хомич Владислав Юрьевич, Мошкунов Сергей Игоревич. Монография посвящена вопросам разработки и создания высоковольтных генераторов импульсов на полупроводниковой основе. Описаны основные принципы построения составных высоковольтных…

Эксимерлазерная коррекция зрения практически не имеет противопоказаний. После проведения операции, при соблюдении человеком всех правил реабилитационного периода и предписаний врача, не возникают осложнения как после других видов операции.

Суть оперативного вмешательства – воздействие на роговицу. Высокоточный лазерный луч позволяет моделировать такую форму прозрачной наружной оболочки, при которой лучи, преломляются и фиксируются.

Лазерный способ коррекции уже широко известен и популярен. Но, несмотря на это методика имеет свои противопоказания.

Оперативное вмешательство проводится с помощью специализированного оборудования. Эксимер лазером называется аппарат, применяемый для лечения глазных заболеваний. Применяется он не только в офтальмологии.

Воздействие на ткани больного глаза происходит газовым ультрафиолетовым излучателем. Благодаря мощнейшему ультрафиолетовому излучению хирурги получают отличные результаты после выполнения операции.

При воздействии определенная часть роговицы попросту испаряется. Именно по этим причинам не нужно длительное время для проведения коррекции. Точное воздействие луча предупреждает не только проникновение инфекции в больной глаз, но и существенно уменьшает длительность реабилитации.

Смесь газов, нахождение молекул в состоянии возбуждения и воздействие на все это электрических импульсов способствует образованию мощного светового луча. Говоря простыми словами – это и есть «скальпель», обладающий специфическими свойствами.

К слову, по статистике по завершении стандартных полостных операций при помощи скальпеля, осложнения развиваются у 56% пациентов. По завершении коррекционной процедуры зрения, используя эксимер лазер, — только у 0,05% людей.

Преимущественные стороны коррекции эксимер лазером

Перечень плюсов коррекции:

  • Безопасная методика. Такое оперативное вмешательство имеет минимум противопоказаний. Коррекция проводится компьютеризированной техникой, при этом обрабатываются индивидуальные данные человека. Это позволяет исключить врачебные ошибки и осложнения.
  • Безболезненная процедура. Применяются для анестезии только препараты местного воздействия. Отсутствует необходимость использовать противопоказанные многим обезболивающие инъекции.
  • Быстрота выполнения коррекции. Операция не занимает по времени более 20 мин, вне зависимости от сложности заболевания.
  • Высокий результат. С помощью эксимерлазера возможно избавиться сразу от нескольких проблем с глазами.
  • Быстрая реабилитация. Лазерные лучи не травмируют окружающие ткани. Поэтому период восстановления существенно укорачивается. Благодаря минимальному повреждению тканей, отсутствуют осложнения. После проведения коррекции у пациента отсутствуют ограничения в дальнейшей жизни.

Существуют ли недостатки

Наверное, нет методик, у которых бы отсутствовали отрицательные стороны. И коррекция эксимер лазером – не исключение.

К минусам такой терапии можно отнести возрастные ограничения. То есть, не проводится коррекция зрения, молодым людям, не достигшим совершеннолетия. Это никак не связано именно с воздействием лазера.

Не выполняется операция потому, так как орган зрения не считается достаточно развитым для коррекции.

Не часто назначается малоинвазивная терапия пожилым людям. Но и в этом случае могут быть исключения. Известны случаи, когда операция была проведена пациентам в возрасте 50-60 лет. При этом наблюдались отличные результаты.

Правила предоперационного и послеоперационного периода

За 14 дней до проведения коррекции пациенту будет предложено отказаться от ношения очков либо контактных лиц. Данный период самый лучший для восстановления естественной формы роговицы (под воздействием линзы она меняется). В ходе исследования врачи детально изучают состояние зрительного аппарата – определяют толщину роговицы, обследуют глазное дно. По итогам полученных результатов и визуального осмотра специалист ставит диагноз, определяется категория сложности восстановительной манипуляции.

Врачи рекомендуют перед коррекционной процедурой воспользоваться периферической профилактической лазеркоагуляцей сетчатки. Этот способ помогает сетчатке укрепиться, что увеличивает вероятность высоких результатов коррекции.

По завершении полного обследования, врачи назначают дату коррекции.

Подготовительные процедуры

Во время подготовки к оперативному вмешательству нужно придерживаться таких правил:

  • на протяжении 14 суток до оперативного вмешательства не использовать контактные линзы и очки;
  • за двое суток нельзя принимать спиртные напитки;
  • за сутки перестать использовать косметические средства и парфюмерию, особенно содержащие спирт (нужно создать естественный микроклимат для проведения коррекции – чувствительная аппаратура при резких запахах может сработать неправильно);
  • за месяц до операции сдаются в обязательном порядке анализы крови (гепатит, RW);
  • при себе в день процедуры следует иметь солнцезащитные очки, сменную одежду;
  • с утра, перед оперативным вмешательством, следует позавтракать легкой пищей;
  • не нужно надевать шерстяную одежду с узкими воротниками;
  • утром перед коррекцией необходимо вымыть лицо с мылом, лучше пользоваться детским мылом, без добавок.

Для проведения эксимерлазерной коррекции понадобится всего 15 — 20 минут. Предварительно врач закапывает обезболивающие капли. Затем человеку устанавливают специальные инструменты на область оперируемого глаза, чтобы веки были открыты. Ощущения, которые будет испытывать человек можно сравнить с прохождением ультразвукового обследования. То есть ни боли, ни дискомфорта ощущаться не будет.

Методика совершенно безболезненна и безопасна. Единственное требование для пациента – сохранять в неподвижном состоянии голову и смотреть на маятник аппаратуры.

После того как будет проведена эксимерлазерная коррекция, у людей существенно снижается острота зрения. Но переживать по этому поводу абсолютно не нужно. Данный период называется адаптацией. То есть глазу после процедуры нужно просто привыкнуть к новым возможностям. Окончательное восстановление зрительных функций произойдет через несколько дней. Еще один момент – через час-полтора по завершении операции наблюдается слезотечение. Это тоже считается нормальной реакцией. Спустя 6 часов данный процесс уже не будет беспокоить человека.

Как вести себя после коррекции:

  • нельзя спать несколько суток на спине;
  • выходя на улицу обязательно защищать глаза от попадания прямого света;

  • на протяжении первых двух суток не трогать глаза руками, промокать слезы можно только на щеках чистым платком или стерильными салфетками, руки при этом должны быть чистыми;
  • прекратить в первые двое суток чтение книг, использование компьютера, вождение автомобиля или просмотр телевизора;
  • четыре дня следить за тем, чтобы проточная вода не попала в глаза, где совершена эксимерлазерная коррекция зрения;
  • пользоваться каплями, которые назначил врач;
  • капать капли следует в конъюнктивальный мешок, оттянув чуть нижнее веко;
  • исключить использование косметики и парфюмерии на протяжении 2 суток;
  • нет необходимости покрывать глаз повязкой, другими фиксирующими средствами;
  • не принимать алкогольные напитки на протяжении одного месяца;
  • исключить чрезмерное физическое напряжение и иные виды деятельности, при которых может произойти травматизация глазного яблока;
  • исключить на протяжении месяца посещение бассейна и купание в открытых водоемах;
  • Посещение сауны и бани запрещено на протяжении одного месяца;
  • обязательное соблюдение всех рекомендаций офтальмолога, исключается пропуск назначенных осмотров;
  • при появлении резких болевых ощущений в глазу, ухудшения остроты зрения, травматизации, попадания инородных тел нужно обратиться к офтальмологу.

Показания, противопоказания

Использование эксимер лазера обеспечило настоящий прорыв и не только в офтальмологии. На сегодняшний день щадящие операции по корректировке зрения проводятся во всех городах России, хотя совсем недавно такие методики были подвластны только зарубежным специалистам.

Показания к проведению эксимерной корректировке:

  • близорукость;
  • дальнозоркость;
  • астигматизм;
  • проблемы с ношением очков, линз.

К противопоказаниям относятся:

  • молодые люди, младше 18 лет;
  • пациенты после 45 лет (в некоторых случаях врачи делают исключение);
  • недостаточная толщина роговицы;
  • хронические заболевания роговицы, аутоиммунные болезни;
  • катаракта;
  • глаукома;
  • сахарный диабет;

  • туберкулез;
  • злокачественные новообразования;
  • период вынашивания плода и кормления грудью;
  • установленные кардиостимуляторы.

Даже в том случае, если присутствуют какие-либо противопоказания для проведения лазерной коррекции, не нужно отчаиваться и опускать руки. Следует посетить офтальмолога, который после детального обследования назначит коррекцию или примет решение использовать альтернативные способы лечения.

Не нужно бояться назначенной операции. Многие, наслушавшись «страшилок» о том, что во время процедуры может выключиться свет или лазер может «промахнуться», отказываются от проведения процедуры. Все эти «страшилки» просто мифы, не более. Даже в том случае если происходит отключение электропитания, лазер работает от бесперебойных блоков. «Промахнуться», как говорят многие, лазерное оборудование никак не может, потому как оно является высокоточным. И только благодаря ему можно сделать зрение прежним.

Наиболее часто задаваемые вопросы

Перечень вопросов:

  • Ухудшается ли острота зрения после корректировки? Результаты эксимерлазерной корректировки зрения со временем не изменятся. Это может произойти вследствие возрастных изменений после 40 лет (пресбиопия).

  • Сколько времени нужно провести в стационаре? Находиться длительное время в стационарных условиях не нужно. Процедура проводится без госпитализации. Предоперационная подготовка, сама процедура и послеоперационное обследование не займут более двух часов. После этого человек будет отправлен домой. На следующий день нужно будет посетить офтальмолога для осмотра.
  • Можно ли делать эксимерлазерную коррекцию сразу на двух глазах? Коррекционная терапия может выполняться на обоих глазах. Интервал корректировки составляет всего несколько минут.
  • Когда можно возобновить спортивные тренировки? Человек может вести привычный образ жизни, без существенных ограничений, которых нужно придерживаться лишь месяц после процедуры. Спустя это время тренировки можно возобновить. Такой вид коррекции является единственным способом восстановления зрения для летчиков, спортсменов, альпинистов, каскадеров.
  • Когда можно пользоваться компьютером, смотреть телевизор, водить машину? Через двое суток.
  • Может ли развиться слепота после операции? По статистике, утраты зрения после проведенной эксимерлазерной операции зафиксировано не было.
  • Нужно ли проводить повторную коррекцию? Только если случай особо тяжелый, но зачастую нужды в этом нет.

МГТУ им. Н.Э. Баумана

Учебно-методическое пособие

Эксимерные лазеры

Н.В. Лисицына

Москва 2006

Введение

1. Теоретические основы

1.1 Активная среда

1.1.2 Лазеры на окислах инертных газов

1.1.3 Лазеры на эксимерных молекулах чистых инертных газов

1.1.4 Лазеры на двухатомных галогенах

1.1.5 Лазеры на парах металлов

1.1.6 Охлаждение, вентиляция и очистка рабочего газа

1.2 Накачка

1.2.1 Накачка электронным пучком

1.2.2 Накачка электрическим разрядом

1.2.2.1 Разрядные цепи

1.2.2.2 Накачка быстрым поперечным электрическим разрядом

2.2.3 Накачка электрическим разрядом с предионизацией электронным пучком

1.2.2.4 Накачка двойным электрическим разрядом

1.3 Параметры выходного излучения

2. Коммерческие модели эксимерных лазеров

2.1 Лазер LPXPro 305 фирмы LAMBDA PHYSIK (Германия)

2.2 Лазер eX5 ФИРМЫ gam lasers, inc (сша)

3. Применения

3.1 Фотолизное возбуждение лазерных сред

3.2 Генерация коротковолнового излучения

3.2.1 Фотолитография

3.2.2 Лазерная хирургия. Пример пересчета параметров лазерного излучения

Литература

Введение

Эксимерные лазеры - один из самых интересных видов лазеров. Излучение источников, относящихся к этому виду, в спектральном диапазоне занимает промежуток от 126 нм до 558 нм. Благодаря такой малой длине волны излучение эксимерных лазеров может быть сфокусировано в пятно очень маленького размера. Мощность этих источников достигает единиц кВт. Эксимерные лазеры относятся к импульсным источникам. Частота повторения импульсов может доходить до 500 Гц. Этот вид лазеров имеет очень высокий квантовый выход и, как следствие, достаточно высокий КПД (до 2 - 4%).

Благодаря таким необычным характеристикам, излучение эксимерных лазеров находит применение во многих областях и приложениях. Они используются в клиниках при проведении операций (на радужной оболочке глаза и других), где необходимо выжигание тканей. На основе этих лазеров созданы микрофотолитографические установки для тонкого травления материалов при создании электронных печатных плат. Широкое применение нашли эксимерные лазеры в экспериментальных научных исследованиях.

Однако, все эти замечательные характеристики эксимерных лазеров влекут за собой некоторые трудности при их изготовлении и создании установок на их основе. Например, при столь высокой мощности излучения необходимо препятствовать образованию дуги в активной газовой смеси. Для этого необходимо усложнить механизм накачки с целью сокращения длительности ее импульса. Коротковолновое излучение эксимерных лазеров требует использования специальных материалов и покрытий в конструкциях резонаторов, а также в оптических системах для преобразования их излучения. Поэтому одним из недостатков источников этого вида является высокая, по сравнению с другими видами лазеров, стоимость.

1. Теоретические основы

1.1 Активная среда

Активной средой эксимерного лазера являются молекулы газа. Но, в отличие от лазеров на CO, CO 2 или N 2 , генерация в эксимерных лазерах происходит не на переходах между различными колебательно-вращательными состояниями, а между различными электронными состояниями молекул. Существуют вещества, которые в основном состоянии не могут образовывать молекулы (их частицы в невозбужденном состоянии существуют лишь в мономерной форме). Это происходит, если основное состояние вещества соответствует взаимному отталкиванию атомов, является слабосвязанным, либо связанным, но при наличии больших межъядерных расстояниях (рис.1).

Рисунок 1: а - резко отталкивательная кривая; б - плоская кривая; в - кривая связанного состояния на больших межъядерных расстояниях

Молекулы рабочего вещества эксимерных лазеров грубо можно разделить на два вида: образованные частицами одного и того же вещества и частицами двух различных веществ. В соответствии с этим сами активные среды можно назвать "эксимеры" (excimer, exciteddimer - возбужденный димер) и "эксиплексы" (exciplex, excitedcomplex - возбужденный комплекс).

Процесс получения генерации в эксимерном лазере удобно рассмотреть с помощью рисунка 2, на котором представлены кривые потенциальной энергии для основного и возбужденного состояний двухатомной молекулы А 2 .

Рисунок 2. Энергетические уровни эксимерного лазера.

Поскольку кривая потенциальной энергии возбужденного состояния имеет минимум, молекула А 2 * может существовать. Данная молекула является эксимером. В процессе релаксации возбужденной среды устанавливается определенная траектория потока энергии, которая содержит скачок, преодолеваемый только испусканием излучения. Если в некотором объеме накопить довольно большое количество таких молекул, то на переходе между верхним (связанным) и нижним (свободным) уровнями можно получить генерацию (вынужденное излучение) - связанно-свободный переход.

Этот переход характеризуется следующими важными свойствами:

При переходе молекулы в основное состояние в результате генерации она немедленно диссоциирует;

Не существует четко выраженных вращательно-колебательных переходов, и переход является относительно широкополосным.

Если инверсия населенностей не достигается, то наблюдается флюоресценция.

Если нижнее состояние является слабосвязанным, то молекула в этом состоянии претерпевает быструю диссоциацию либо сама (предиссоциация), либо вследствие первого же столкновения с другой молекулой газовой смеси.

В настоящее время получена лазерная генерация на ряде эксимерных комплексов - квазимолекулах благородных газов, их окислах и галогенидах, а также парах металлических соединений. Длины волн генерации этих активных сред приведены в таблице 1.

Таблица 1

Эксимерные комплексы Квазимолекулы благородных газов Окислыблагородных газов Пары металлических соединений
Активная квазимолекула Xe 2 * Kr 2 * Ar 2 * ArO* KrO* XeO* CdHg*
λ ген, нм 172 145,7 126 558 558 540 470
∆λ, нм 20 13,8 8 25
Р имп, МВт(Р ср, Вт) 75 50
τ, нс 10 10 4-15
Активная квазимолекула XeBr* XeF* ArF* ArCl* XeCl* KrCl* KrF*
λ ген, нм 282 351 193 175 308 220 248
∆λ, нм 1 1,5 1,5 2 2,5 5 4
Р имп, МВт(Р ср, Вт) (100) 3 1000 (0,02) (7) 5(0,05) 1000
τ, нс 20 20 55 10 5 30 55

Для получения квазимолекул благородных газов используются чистые газы, находящиеся под давлением в десятки атмосфер; для получения окислов благородных газов - смесь исходных газов с молекулярным кислородом или соединениями, содержащими кислород, в соотношении 10000: 1 под таким же давлением; для получения галогенидов благородных газов - их смеси с галогенами в соотношении 10000: 1 (для аргона и ксенона) или 10: 1 (для ксенона или криптона) при общем давлении 0,1 - 1 МПа.

1.1.1 Лазеры на галогенидах инертных газов

Рассмотрим наиболее интересный класс эксимерных лазеров, в которых атом инертного газа в возбужденном состоянии соединяется с атомом галогена, что приводит к образованию эксиплекса галогенидов инертных газов. В качестве конкретных примеров можно указать ArF (λ = 193 нм), KrF (λ = 248 нм), XeCl (λ = 309 нм), XeF (λ = 351 нм), которые генерируют все в УФ диапазоне. То, почему галогениды инертных газов легко образуются в возбужденном состоянии, становится ясным, если учесть, что в возбужденном состоянии атомы инертных газов становятся химически сходными с атомами щелочных металлов, которые легко вступают в реакцию с галогенами. Эта аналогия указывает также на то, что в возбужденном состоянии связь имеет ионный характер: в процессе образования связи возбужденный электрон переходит от атома инертного газа к атому галогена. Поэтому подобное связанное состояние также называют состоянием с переносом заряда.

В лазерах на галогенидах инертных газов существенное влияние на состояние плазмы оказывают процессы фотопоглощения. К ним относится фотодиссоциация исходного галогена, из которого образуется галогенид инертного газа F 2 + hν → 2F; фотораспад образованного в плазме отрицательного иона F - + hν → F + e - ; фотоионизация возбужденных атомов и молекул инертного газа Ar * + hν → Ar + + e - ; фотодиссоциация димеров ионов инертного газа Ar 2 + + hν → Ar + + Ar. А также поглощение самими молекулами галогенидов инертных газов.

Фотопоглощение в активной среде лазеров на галогенидах инертных газов можно разделить на линейчатое и широкополосное. Линейчатое поглощение возникает на связанно-связанных переходах, присутствующих в лазерной смеси примесей атомарных и молекулярных газов, а также свободных атомов и радикалов, образующихся под действием разряда либо при разложении примесных молекул, либо за счет эрозии электронов. Показано, что линейчатое поглощение в некоторых случаях может довольно существенно искажать спектр генерации, однако, как правило, не приводит к заметному снижению ее энергии. Широкополосное поглощение обусловлено, главным образом, связанно-свободными переходами, происходящими в процессах типа фотодиссоциации, фотоотлипания и фотоионизации.

Эксимерные лазеры на галогенидах инертных газов обычно накачиваются электрическим разрядом.

Эффективная накачка эксимерных лазеров, т.е. создание разряда оптимального с точки зрения вклада энергии в активную среду, еще не гарантирует получения высоких генерационных характеристик лазера. Не менее важно организовать извлечение из активной среды запасенной в ней световой энергии.

Эксимерные лазеры представляют собой интересный и важный класс молекулярных лазеров на переходах между различными электронными состояниями. Рассмотрим двухатомную

молекулу кривые потенциальной энергии для основного и возбужденного состояний которой приведены на рис. 6.25. Поскольку основное состояние соответствует взаимному отталкиванию атомов, в этом состоянии молекула не существует (т. е. в основном состоянии частицы существуют лишь в мономерной форме А). Однако, поскольку кривая потенциальной энергии возбужденного состояния имеет минимум, молекула может существовать в возбужденном состоянии (т. е. в возбужденном состоянии частицы существуют в димерной форме Такая молекула А называется эксимером (аббревиатура англ. слов - возбужденный димер). Предположим теперь, что в некотором объеме каким-либо образом создано большое число эксимеров. Тогда генерация может быть получена на переходе между верхним (связанным) и нижним (свободным) состояниями (связанно-свободный переход). Соответствующий лазер называется эксимерным. Эти лазеры характеризуются двумя необычными, но важными свойствами благодаря тому, что основное состояние соответствует взаимному отталкиванию атомов. 1) Как только в результате генерации молекула перейдет в основное состояние, она немедленно диссоциирует. Это означает, что нижний лазерный уровень будет всегда пустым. 2) Не существует четко выраженных вращательно-колебательных переходов, и переход является относительно широкополосным Однако следует заметить, что в некоторых эксимерных лазерах кривая потенциальной энергии основного состояния не соответствует чистому взаимному отталкиванию, а обладает неглубоким минимумом. В этом случае переход происходит между верхним связанным состоянием и нижним (слабо) связанным состоянием (связанно-связанный переход). Однако, поскольку основное состояние является лишь слабосвязанным, молекула в этом состоянии претерпевает быструю диссоциацию либо сама (предис-социация), либо вследствие первого же столкновения с другой молекулой газовой смеси.

Рис. 6.25. Энергетические уровни эксимерного лазера.

Рассмотрим теперь наиболее интересный класс эксимерных лазеров, в которых атом инертного газа (например, ) в возбужденном состоянии соединяется с атомом галогена что приводит к образованию эксимера галогенидов инертных газов. В качестве конкретных примеров укажем , которые генерируют все в УФ-диапазоне. То, почему галогениды инертных газов легко образуются в возбужденном состоянии, становится ясным, если учесть, что в возбужденном состоянии атомы инертных газов становятся химически сходными с атомами щелочных металлов, которые, как известно, легко вступают в реакцию с галогенами. Эта аналогия указывает также на то, что в возбужденном состоянии связь имеет ионный характер; в процессе образования связи возбужденный электрон переходит от атома инертного газа к атому галогена. Поэтому подобное связанное состояние также называют состоянием с переносом заряда, Рассмотрим теперь подробнее -лазер, так как он представляет собой один из наиболее важных лазеров данной категории. На рис, 6.26 приведена диаграмма потенциальной энергии молекулы Верхний лазерный уровень является состоянием с переносом заряда и ионной связью, которое при отвечает состоянию положительного иона и состоянию 5 отрицательного иона Поэтому энергия при равна потенциалу ионизации атома криптона минус сродство атома фтора к электрону, При больших межъядерных расстояниях кривая энергии подчиняется закону Кулона. Таким образом, потенциал взаимодействия между двумя ионами простирается на гораздо большее расстояние чем в случае, когда преобладает ковалентное взаимодействие (ср., например, с рис, 6.24), Нижнее состояние имеет ковалентную связь и при отвечает состоянию атома криптона и состоянию атома фтора, Таким образом, в основном состоянии атомные состояния инертного газа и галогена меняются местами. В результате взаимодействия соответствующих орбиталей верхнее и нижнее состояния при малых межъядерных расстояниях расщепляются на состояния и Генерация происходит на переходе поскольку он имеет наибольшее сечение, Заметим, что при переходе излучающий электрон передается от иона иону

Обращаясь к механизмам возбуждения, заметим, что электрическое возбуждение приводит в основном к образованию возбужденных атомов и ионов Обе частицы сразу же приводят к образованию возбужденных молекул . В самом деле, возбужденный атом может реагировать с молекулой в соответствии со следующей реакцией:

Используя рассмотренную выше аналогию между возбужденными атомами инертного газа и атомами щелочных металлов, можно сразу же предположить, что скорость реакции (6.12) будет сравнима со скоростью реакции между (атом щелочного металла, соответствующий и молекулой

Рис. 6.26. Кривые потенциальной энергии, отражающие молекулярную структуру

Ион напротив, реагирует с ионами которые образуются в реакции присоединения электрона с диссоциацией:

Заметим, что для одновременного выполнения законов сохранения энергии и импульса рекомбинация двух ионов должна протекать посредством трехчастичного столкновения:

где М - атом буферного газа (в данном случае это, как правило, гелий). Из-за большого расстояния взаимодействия двух ионов данная реакция также идет с очень большой скоростью, если давление буферного газа достаточно велико (газовая смесь обычно состоит из при давлении около 120 мбар, при давлении 6 мбар и Не при давлении 2400 мбар).

Эксимерные лазеры на галогенидах инертных газов обычно накачиваются электрическим разрядом в соответствии с общей схемой, представленной на рис. 6,21.

Рис. 6.27, Энергия в импульсе, излучаемая ТЕА-лазером с УФ-предыонизацией электрического разряда. В каждом из указанных лазеров использовалась та же лазерная трубка, что и на рис. 6.21, но заполненная соответствующим газом.

Предыонизация обычно достигается, как и на рис. 6,21, излучающими в УФ-диапазоне искровыми разрядами. Поскольку глубина проникновения УФ-излучения в газовую смесь ограничена, для больших установок (поперечные размеры разряда больше 2-3 см) иногда применяют предыонизацию рентгеновским излучением. Для лабораторных устройств и самых крупных установок иногда используют также накачку внешним электронным пучком, Во всех случаях усиление оказывается очень большим, так что в лазерном резонаторе обычно на одном из концов в качестве зеркала устанавливают непросветленный эталон, а на другом конце используют зеркало со 100 %-ным отражателем (например, заднее зеркало на рис. 6.21), Поскольку время жизни верхнего уровня сравнительно невелико, а также чтобы избежать образования дуги, необходимо обеспечить быструю накачку (длительность импульса накачки 10-20 не). В случае, представленном на рис, 6.21, это достигается, как и в азотном лазере, тем, что уменьшают по возможности индуктивность контура и используют

безындукционные конденсаторы, присоединенные к разрядным электродам короткими проводниками. В действительности один и тот же лазер типа изображенного на рис. 6,21 можно использовать как TEA -лазер, азотный лазер или эксимерный лазер просто заменой газовой смеси, На рис. 6.27 показаны полученные таким способом выходные энергии одиночного импульса для различных лазеров. Имеются эксимерные лазеры с частотой повторения примерно до 500 Гц и средней выходной мощностью вплоть до 100 Вт, В настоящее время создаются также более крупные установки со средней мощностью более 1 кВт, Благодаря большому квантовому выходу (см. рис, 6,26) и высокой эффективности процессов накачки КПД этих лазеров обычно довольно высок (2-4 %).

Эксимерные лазеры используются для очень точного травления различных материалов в приложениях, связанных с электронными печатными схемами, а также для выжигания тканей в биологии и медицине (например, радиальная кератомия радужной оболочки глаза). Эксимерные лазеры также широко используются в научных исследованиях и, по-видимому, найдут многочисленные применения там, где требуется источник мощного УФ-излучения с высоким КПД (например, в фотохимии).